★プラズマ内における活性粒子の反応過程など基礎的な解説から、

粒子の分析に利用される各種計測法の原理や具体的な実施例、プラズマプロセスの最適化例を紹介！

プラズマプロセスの診断・モニタリングと

それに基づくプロセスの最適化

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

低温プラズマを用いたプロセス技術は、我々の生活に欠かせない半導体デバイスをはじめ機械・電気部品などの広くモノづくりの現場で利用されており、さらに近年では医療やバイオ分野への応用研究も盛んに行われています。この低温プラズマは気体放電により生成されますが、それと同時にその内部では物理・化学的な作用をもたらす数多くの荷電粒子や中性活性粒子も気相中に生成されます。それら粒子が基材上に到達し、引き起こされる表面反応を利用した技術がプラズマプロセスです。そのため、それら粒子の診断・モニタリングすることがプロセス反応の理解とその最適化に向けた課題となります。今回紹介するプラズマの診断・モニタリング技術は、それら粒子の密度や状態を知るための重要なツールです。本講演では、まずプラズマ内における活性粒子の反応過程など基礎的な解説を行いつつ、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明したのち、それを基にしたプラズマプロセスの最適化例を紹介します。以上を通じて、プラズマプロセスにおける活性粒子の診断とモニタリング技術を知って頂くとともに、本技術をもとに分析される反応メカニズムの理解、さらには活性粒子に関する知見を基にしたプロセスの最適化を検討して頂く契機となることを期待します。

◆習得できる知識

• プロセスプラズマの基礎的特性について理解できる。
• プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅（反応）過程について理解できる。
• 活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理や、それらの実践方法について理解できる。
• 活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化について検討できる。

◆受講対象

プラズマプロセス研究を始めたばかりの初学者（学生・若手研究者・社会人技術者）の方
プラズマプロセス研究に携わる方で、プラズマ診断技術に興味をお持ちの方

◆必要な前提知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

担当講師

名城大学　理工学部　教授　博士（工学）
竹田 圭吾氏

【ご略歴】
平成19年3月　名古屋大学大学院工学研究科博士後期課程 修了
平成19年4月　名古屋大学大学院工学研究科　中核的研究機関研究員
平成20年4月　名古屋大学大学院工学研究科　助教
平成29年4月　名城大学理工学部電気電子工学科　准教授
令和4年4月　 名城大学理工学部電気電子工学科　教授
その他学協会・関連団体でのご活動など
・応用物理学会 会員
・応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 会員
・プラズマ・核融合学会 代議員
・CVD研究会 幹事

【ご専門】
プラズマの生成と診断

セミナープログラム（予定）

1. プラズマの特性と活性粒子の反応
1-1　プラズマの基礎特性
1-2　活性粒子の生成過程
1-3　活性粒子の気相反応
1-4　活性粒子の表面反応

2．中性活性種および荷電粒子の各種計測技術の原理と特徴
2-1　プローブ計測法
2-2　干渉計測法
2-3　発光分光法
2-4　吸収分光法
2-5　散乱・蛍光分光法
2-6　質量分析法

3．プラズマ粒子の診断とモニタリングによるプロセスの最適化と制御
3-1　プラズマエッチングプロセス
3-2　プラズマ化学気相堆積プロセス
3-3　大気圧プラズマプロセス
3-4　プラズマバイオ応用プロセス

4．まとめ

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2026/3/27（金） 12:30～16:30
【アーカイブ配信】3/30（月）～4/13（月）（何度でも受講可能）

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

非会員： 49,500円 （本体価格：45,000円）
会員： 46,200円 （本体価格：42,000円）

会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から

• 1名で申込の場合、46,200円（税込）へ割引になります。
• 2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

※LIVE配信とアーカイブ配信（見逃し配信）両方の視聴を希望される場合
会員価格で1名につき49,500円（税込）、2名同時申込で60,500円（税込）になります。
メッセージ欄に「LIVEとアーカイブ両方視聴」と明記してください。

※セミナー主催者の会員登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「R&D支援センター会員登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みから会員受講料が適用されます。

※R&D支援センターの会員登録とは？
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

LIVE配信のご案内

こちらをご参照ください

備考

• セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
  無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】、【LIVEとアーカイブ両方視聴】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。