PFAS規制の動向と半導体産業へ影響【提携セミナー】
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もっと見る開催日時 | 【ライブ配信】 2024/8/30(金)13:00~16:00 , 【アーカイブ配信】 2024/9/17(火)まで受付(視聴期間:9/17~10/2) |
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担当講師 | 礒部 晶 氏 |
開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
定員 | - |
受講費 | 通常申込:49,500円 E-Mail案内登録価格:46,970円 |
PFAS規制の動向と半導体産業へ影響
≪半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況≫
【提携セミナー】
主催:サイエンス&テクノロジー株式会社
受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ
いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物(PFAS)
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、今後与えるのか
現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、、
セミナー趣旨
有機フッ素化合物(PFAS)の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約(POPs条約)および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。
キーワード
:PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料
担当講師
(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏
セミナープログラム(予定)
1.PFASとは
1-1 PFAS関連のニュース
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途
2.PFAS規制の動向
2-1 POPs条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向
3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等
4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜
5.PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
6.まとめ
質疑応答
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【ライブ配信】 2024/8/30(金)13:00~16:00
【アーカイブ配信】 2024/9/17(火)まで受付(視聴期間:9/17~10/2)
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
定価:本体45,000円+税4,500円
E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)
テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料37,400円( E-Mail案内登録価格 35,640円)
定価:本体34,000円+税3,400円
E-Mail案内登録価格:本体32,400円+税3,240円
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配布資料
PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、S&T会員のマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。
備考
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
お申し込み方法
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