PFAS(有機フッ素化合物)規制の動向と半導体産業への影響【提携セミナー】
| 開催日時 | 【ライブ配信】 2025/12/8(月) 13:30~16:30 , 【アーカイブ配信】 2025/12/23(火) まで受付(視聴期間:12/23~1/13) |
|---|---|
| 担当講師 | 礒部 晶 氏 |
| 開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
| 定員 | - |
| 受講費 | 通常申込:本体45,000円+税4,500円 E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円 |
PFAS(有機フッ素化合物)規制の動向と
半導体産業への影響
≪半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況≫
【提携セミナー】
主催:サイエンス&テクノロジー株式会社
受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界に影響をどのような与えているのか、今後与えるのか
現在の対応・代替技術の状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、
セミナー趣旨
一般のニュースでもしばしば取り上げられるようになったPFASですが、その規制はますます厳しさを増しています。PFASとは1万種類を超える有機フッ素化合物の総称で、その特性を利用して様々な分野で利用されています。しかし一部のPFASに有害性が確認され、その規制範囲は広がっています。半導体製造においても様々な工程で使用されており、規制動向が注視されています。
本セミナーではPFASの基礎知識、内外の規制動向を解説し、PFASが用いられている半導体製造工程についてその内容とPFASが用いられている理由、代替技術の開発状況などを解説します。
キーワード
:PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料
担当講師
(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏
略歴
1984年-2002年 NECにてLSI多層配線プロセス開発
2002年-2006年 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
2006年-2013年 ニッタハース(株)にて研究開発GM
2013年-2015年 (株)ディスコにて新規事業開発
2015- (株)ISTL
セミナープログラム(予定)
1.PFASとは
1-1 PFAS関連のニュース
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途
2.PFAS規制の動向
2-1 POPs条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向
3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等
4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜
5.PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
6.まとめ
質疑応答
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【ライブ配信】 2025年12月8日(月) 13:30~16:30
【アーカイブ配信】 2025年12月23日(火) まで受付(視聴期間:12/23~1/13)
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
定価:本体45,000円+税4,500円
E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)
テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料39,600円( E-Mail案内登録価格 37,840円)
定価:本体36,000円+税3,600円
E-Mail案内登録価格:本体34,400円+税3,440円
※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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配布資料
- PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。
備考
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
★【Live配信】【アーカイブ受講】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。



































