PFAS(有機フッ素化合物)規制の動向と半導体産業への影響【提携セミナー】

先端半導体パッケージ 材料開発

PFAS(有機フッ素化合物)規制の動向と半導体産業への影響【提携セミナー】

開催日時 【ライブ配信】 2025/12/8(月) 13:30~16:30 , 【アーカイブ配信】 2025/12/23(火) まで受付(視聴期間:12/23~1/13)
担当講師

礒部 晶 氏

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

定員 -
受講費 通常申込:本体45,000円+税4,500円
E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円

 

PFAS(有機フッ素化合物)規制の動向と

半導体産業への影響

 

≪半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況≫

 

【提携セミナー】

主催:サイエンス&テクノロジー株式会社

 


受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

 

強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界に影響をどのような与えているのか、今後与えるのか
現在の対応・代替技術の状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
 半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、

 

セミナー趣旨

一般のニュースでもしばしば取り上げられるようになったPFASですが、その規制はますます厳しさを増しています。PFASとは1万種類を超える有機フッ素化合物の総称で、その特性を利用して様々な分野で利用されています。しかし一部のPFASに有害性が確認され、その規制範囲は広がっています。半導体製造においても様々な工程で使用されており、規制動向が注視されています。

 

本セミナーではPFASの基礎知識、内外の規制動向を解説し、PFASが用いられている半導体製造工程についてその内容とPFASが用いられている理由、代替技術の開発状況などを解説します。

 

キーワード

:PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料

 

担当講師

(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏

 

略歴
1984年-2002年 NECにてLSI多層配線プロセス開発
2002年-2006年 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
2006年-2013年 ニッタハース(株)にて研究開発GM
2013年-2015年 (株)ディスコにて新規事業開発
2015- (株)ISTL

 

セミナープログラム(予定)

1.PFASとは
1-1 PFAS関連のニュース
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途

 

2.PFAS規制の動向
2-1 POPs条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向

 

3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等

 

4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜

 

5.PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況

 

6.まとめ

 

質疑応答

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【ライブ配信】 2025年12月8日(月) 13:30~16:30
【アーカイブ配信】 2025年12月23日(火) まで受付(視聴期間:12/23~1/13)

 

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

 

受講料

定価:本体45,000円+税4,500円
E-Mail案内登録価格:本体42,700円+税4,270円

 

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須​/1名あたり定価半額24,750円)

 

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料39,600円( E-Mail案内登録価格 37,840円)

 

定価:本体36,000円+税3,600円
E-Mail案内登録価格:本体34,400円+税3,440円

 

※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

 

【S&T会員登録】と【E-Mail案内登録】の詳細についてはこちらをご参照ください。

 

※E-Mail案内登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「E-Mail案内登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みからE-mail案内登録価格が適用されます。

 

配布資料

  • PDFデータ(印刷可・編集不可)
    ※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
    ※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。

 

オンライン配信のご案内

※【Live配信(zoom使用)対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

※【WEBセミナー:アーカイブ受講対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

 

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
★【Live配信】【アーカイブ受講】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。

 

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