エアロゾルデポジション法の原理、メカニズムとセラミックス膜の成膜技術【提携セミナー】
| 開催日時 | 【Live配信】2026/1/14（水）10:30~16:30 , 【アーカイブ】2026/1/23まで受付（視聴期間：1/23~2/2まで） |
|---|---|
| 担当講師 | 長谷川 誠 氏 |
| 開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 55,000円（消費税込・資料付き） |
★室温でセラミックス膜を形成できるAD法を詳解
成膜原理、装置構成、成膜条件と膜質の関係、実際の成膜事例まで
エアロゾルデポジション法の原理、
メカニズムとセラミックス膜の成膜技術
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
エアロゾルデポジション(AD)法は、室温にて形成する新規の「焼かない」成膜手法です。セラミックス粒子を基板に衝突させることで、数ミクロンから数十ミクロン程度の厚さとなる原料粒子と同一組成・結晶構造を有する緻密かつ結晶質な膜が形成します。この手法は、粒子の運動エネルギーを利用してセラミックス膜を形成することから、エネルギー消費を大きく抑制する環境に配慮した新規の材料創生法として持続可能な社会の構築に必須のプロセス技術だと考えられます。本講演では、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の用途展開についてご紹介します。
習得できる知識
- エアロゾルデポジション法による成膜に関する基礎的な知識
- エアロゾルデポジション法における成膜の特徴や装置構成
- エアロゾルデポジション法における成膜の原理
- エアロゾルデポジション法による膜の結晶配向制御技術
担当講師
横浜国立大学 大学院工学研究院 システムの創生部門 教授 長谷川 誠 氏
セミナープログラム（予定）
１．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の特徴
1.1 背景
1.2 AD装置の構成
1.3 種々の成膜条件が膜の形成に与える影響
1.3.1 アルミナ粒子での成膜
1.3.2 ジルコニア(YSZ)粒子での成膜
1.3.3 ムライト粒子での成膜
1.3.4 金属粒子での成膜
２．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の原理
2.1 近年提唱されている成膜原理
2.2 シミュレーションによる成膜の理解
2.3 成膜粒子の速度測定手法
2.4 粒子のひずみエネルギーに基づいた成膜の解析
2.5 AD法による結晶配向膜の形成
３．成膜体の特性と用途展開
3.1 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性
3.2 AD法による低発塵性部材
3.3 プラスチックへのAD法の適用
3.4 ADアルミナ硬質膜のローラへの適用
3.5 AD膜の耐環境保護膜としての適用の可能性
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【Live配信】2026/1/14（水）10:30~16:30
【アーカイブ】2026/1/23まで受付（視聴期間：1/23~2/2まで）
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
備考
資料は事前にPDFデータを配布いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
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