先端メモリ・ロジックデバイスのためのCu及び

Post-Cu多層配線技術の基礎から最新動向

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

多層配線技術とデバイス集積化【２日間セット】申込可能です。

7月29日先端メモリ・ロジックデバイスのための2.5D/3Dデバイス集積化技術の基礎から最新動向

◆セミナー趣旨

AI、IoT、データセンター、ADAS/自動運転、ロボティックス、5G/ポスト5Gなどのデジタル社会を支える重要基盤である高性能ロジックデバイス(MPU/CPU、GPU)やDRAM、NANDフラッシュメモリ、パワーデバイスなどに代表される先端半導体デバイスにおいて、デバイスを構成する微細トランジスタ同士を接続して論理回路を構成する多層配線に対する微細化、高密度化、低抵抗化、低容量化、高信頼化の要求が益々厳しさを増している。配線寸法やViaホール径の微細化に伴う配線・Via抵抗及び配線間容量の増大や、これらに伴う信号伝搬遅延と消費電力の増加、信頼性の低下は世代とともに極めて深刻になりつつある。

そこで、本講ではこれまでの多層配線技術の歴史的変遷を振り返るとともに、Cuダマシン配線の製造プロセスや微細化に伴う配線抵抗増大の課題について詳しく解説した上で、Cu代替金属材料(Ru、Co、W、Mo、Niなど)やナノカーボン材料(CNT、グラフェン)の最新の開発動向について述べる。また、Cu配線を取り囲む誘電材料(絶縁膜)として、配線間容量低減のために低誘電率(Low-k)材料を導入した経緯や課題、更なるLow-k化のための多孔質(Porous)材料の課題と対策、究極のLow-k技術であるAir-Gap(中空)技術についても詳細に述べる。

さらに、配線長を大幅に短縮化でき、超ワイドバス化や大容量・高速の信号伝送が可能になるSi貫通孔(TSV) やウエハレベル貼合プロセスを用いたメモリデバイス(DRAM、NAND)の3次元(3D)積層化や、複数の半導体チップ（或いは従来のSoC(System on Chip)チップを機能ごとに分割したチップレット)をパッケージ基板上に近接配置して高性能システムを構成する2.5D/3D異種デバイス集積化(チップレットインテグレーション)についても詳しく解説する。

◆習得できる知識

半導体デバイス技術、半導体製造プロセス技術、多層配線形成技術、三次元デバイス集積化技術、材料強度学、金属疲労学、固体物理学、薄膜材料物性学に関する知識

◆受講対象

企業の研究・開発部門をはじめ、事業(生産、管理、サービス)部門、スタッフ部門(営業、マーケティング)に所属する新人、若手及び中堅社員

担当講師

名古屋大学　未来社会創造機構　客員教授 兼 技術コンサルタント(半導体分野)
元 (株)東芝　研究開発センター　首席技監　柴田 英毅 氏

【専門】
半導体デバイス・プロセス技術、半導体集積回路技術、多層配線形成技術、三次元デバイス集積化技術、MEMS技術、光伝送技術、材料強度学、金属疲労学、固体物理学、薄膜材料物性学
＜公的機関や大学との兼任＞
名古屋大学、芝浦工業大学の客員教授、慶應義塾大学の訪問教授
【学会・委員会活動】
・JEITA STRJ(半導体技術ロードマップ専門委員会)配線WG委員長/ITRS(国際半導体技術Roadmap)Interconnect-TWG(Co-Chair)(2007-2009年度)
・Selete(半導体先端テクノロジーズ)研究運営委員及び先端コアBEPプログラム委員/半導体MIRAIプロジェクト/Selete-NSI(Nano. Silicon Integration)技術委員 (2006-2009年度)
・ADMETA論文委員(2009-2011年度)
・応用物理学会集積化MEMS技術研究会副委員長(2010-2011年度)
・LEAP(NEDO国プロ)技術委員(2010-2014年度)
・FIRST(内閣府国プロ)の東芝側研究開発責任者(2014-2017年度)
・日本工学会ECEプログラム委員会委員/産総研「ナノテク製造中核人材養成PGナノエレ講師(2013-2019年度)
・SSDM組織委員(2013-2014年度)
・内閣府SIP(戦略的イノベーション創造プログラム)の東芝側実用化・事業化責任者(2018-2022年度)
・2024年度～NEDO技術委員
【著書，論文】
・ロジックLSI技術の革新(培風館)
・半導体プロセス技術(培風館)
・応用物理ハンドブック(丸善)、Cu配線技術の最新の展開(サイペック)
・異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(シーエムシー出版)
・審査付き学術論文及び主要国際学会での論文発表：計91件
・国内学会・セミナー・学術専門委員会等での講演：計70回
・登録特許数：計73件
【受賞歴】
・日刊工業新聞社十大新製品賞
・IEEE IITC2005 Best Paper Award受賞
・IMAPS2009 Best Paper Award受賞
・ADMETA2009 Best Paper Award受賞
・ADMETA2012 Best Paper Award、Technical Achievement Award受賞
・社長特別表彰(功績賞)
・電気学会センサ・マイクロマシン部門「優秀技術論文賞」

セミナープログラム（予定）

１．多層配線技術の役割とスケーリング，材料・構造・プロセスの変遷
1.1 多層配線の役割と要求，階層構造，フロアプランの実例
1.2 配線長分布と配線階層(Local, Intermediate,(Semi-)Global)毎のRC寄与度の違い
1.3 下層(Local)・中層(Intermediate)及び上層((Semi-)Global)配線のスケーリング理論
1.4 多層配線技術の進化の足跡
1.5 配線・コンタクト・Viaホールの材料・構造・プロセスの変遷

２．微細Cuダマシン配線技術の基礎～最新動向
2.1 配線プロセスの変遷(Al-RIE⇒Cuダマシン)
2.2 金属材料の物性比較とCu選定の考え方
2.3 Cu酸化拡散防止膜(バリアメタル)の要件と材料候補(Ta(N),Ti(N),Nb(N),W(N))
2.4 Ta(N)の課題(対Cu濡れ性,対酸化性)とTi(N)の優位性
2.5 バリアメタル及びSeed-Cuスパッタ法の変遷と課題
2.6 CVD-Ru，Co, RuCoライナーによるCu埋め込み性の改善
2.7 Mnを利用した超薄膜バリア(MnSixOy)自己形成技術
2.8 Cu電解めっきプロセスの概要と無電解法, Cuリフロー法,
MOCVD法との比較, Additiveの重要性，役割，選定手法
2.9 CMPプロセスの概要と研磨スラリーの種類，適用工程の拡大
2.10 Cu-CMPにおける低機械強度Low-k対応施策(低荷重, 複合粒子スラリー, Pad表面改質)

３．Post-Cu配線形成技術の基礎～最新動向
3.1 Cuダマシン配線における微細化・薄膜化による抵抗増大
3.2 平均自由行程からみたCu代替金属材料候補の考え方
3.3 Ru、Co，W，Mo，Ni, Al2Cu, NiAl, CuMgなどの最新開発動向から見た有力候補
3.4 金属配線の微細化限界についての考察とナノカーボン材料への期待
3.5 多層CNT(MWCNT)によるViaホールへの埋め込みと課題
3.6 多層グラフェン(MLG)による微細配線形成と低抵抗化検討結果

４．低誘電率(Low-k/Air-Gap)絶縁膜形成技術の基礎～最新動向
4.1 Cu配線に用いられている絶縁膜の種類と役割
4.2 各種配線パラメータの容量に対する感度解析結果
4.3 比誘電率(k)低減化の手法と材料候補(SiOF, MSQ/SiOC, PAr, BCBなど)
4.4 層間絶縁膜(ILD)構造の比較検討(Monolithic vs. Hybrid)
4.5 材料物性から見たLow-k材料の課題(低機械強度, 低プラズマダメージ耐性など)
4.6 Porous材料におけるPore分布の改善とEB/UV-Cure技術の適用効果
4.7 Porous材料におけるダメージ修復技術の効果
4.8 Pore後作りプロセスの提案とLow-k材料の適用限界の考察
4.9 Air-Gap技術の導入の考え方と構造・方式の比較、課題、現実的な解

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2026/7/7（火） 13:00～17:00

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

7月7日　先端メモリ・ロジックデバイスのためのCu及びPost-Cu多層配線技術の基礎から最新動向のみの受講の場合

非会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
会員：  46,200円 （本体価格：42,000円）

■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から

• 1名で申込の場合、46,200円（税込）へ割引になります。
• 2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。
• 3名同時申込は1名につき24,750円（税込）です。

7月29日先端メモリ・ロジックデバイスのための2.5D/3Dデバイス集積化技術の基礎から最新動向とセット受講の場合

非会員：  74,250円 （本体価格：67,500円）
会員：  72,600円 （本体価格：66,000円）

■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で74,250円（税込）から

• 1名で申込の場合、72,600円（税込）へ割引になります。
• 2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計74,250円（2人目無料）です。
• 3名同時申込は1名につき37,125円（税込）です。

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備考

• 資料付【抜粋版を送付いたします】
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• セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
  無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

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★【7/7先端メモリ・ロジックデバイスのためのCu及びPost-Cu多層配線技術の基礎から最新動向のみの受講　LIVE配信】、【7/7先端メモリ・ロジックデバイスのためのCu及びPost-Cu多層配線技術の基礎から最新動向と7/29先端メモリ・ロジックデバイスのための2.5D/3Dデバイス集積化技術の基礎から最新動向のセット受講　LIVE配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。