プラズマエッチングにおける

パーティクル・プロセス異常の検出技術と対策

異常放電検出　部材の腐食・プラズマ耐性評価　パーティクルの発生と検出 など

不良発生の抑止、予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差低減へ

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

原因不明の歩留まり低下、突発的なパーティクル異常、頻発する装置トラブルなど
量産ラインの収益性をも左右する現場課題にアプローチ！
プラズマエッチングにおけるパーティクル対策、プロセス異常モニタリング、耐食性部材の評価技術を中心に
トラブル原因の可視化と未然防止につなげる視点を提供します。

セミナー趣旨

現在、半導体はもはや産業上の一部品としてではなく、経済安全保障に関わる極めて重要な「特定重要物資」として扱われています。半導体製造技術の最先端では2nm、更にはより以細な製造技術の研究開発も進められています。その一方、国内半導体産業の特長の一つは、車載用マイコンやパワーデバイスを始めとして最先端の微細製造技術を必ずしも必要としない半導体デバイスに競争力を有することです。本セミナーでは、後者の製造を多く担う、いわゆるレガシーファブの量産ラインの前工程において装置稼働率や歩留まりの向上に必要となる製造技術について扱います。前工程の中でも特に収益性に関わりが大きいプラズマプロセスであるプラズマエッチングプロセス及び装置に必要となる技術について、不良発生の抑止や予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差の低減等に資する技術について紹介、解説します。

得られる知識

プラズマエッチングプロセスにおける異常検出やプロセスモニタリング手法について知識を習得出来ます。

• パーティクルのその場検出手法
• 異常放電のその場検出手法
• プロセスチャンバー状態診断手法
• プラズマプロセス装置チャンバー内部品部材のプラズマ耐性評価　など

受講対象

半導体製造工程におけるプラズマプロセスに携わっている方など、本テーマに興味のある方ならどなたでも受講可能です。

担当講師

(国研)産業技術総合研究所　先端半導体研究センター　CMOSインテグレーション研究チーム
博士(工学)　笠嶋 悠司 氏

【専門】高電圧工学、プラズマ理工学

セミナープログラム（予定）

１．はじめに
1.1 半導体業界の動向
1.2 半導体製造工程
1.3 プラズマエッチングプロセス
1.4 量産ラインにおけるパーティクル

２．プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクル課題
2.1 パーティクル対策の必要性
2.2 パーティクルのその場検出手法
2.3 パーティクルの発生メカニズム

３．プラズマプロセスにおける異常モニタリング・検出技術
3.1 プロセス異常モニタリングの必要性
3.2 異常放電検出手法
3.3 プロセスモニタリング・異常検出技術

４．プラズマ耐性材料とその評価技術
4.1 プロセスチャンバー用部品部材の腐食とパーティクル発生
4.2 高プラズマ耐性材料へのニーズ
4.3 部品部材のプラズマ耐性評価手法～セラミックス部材を例として

　□質疑応答□

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2025年11月19日（水）  13:00～17:00

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須​／1名あたり定価半額の24,750円)

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】

1名申込みの場合：受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円)

定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円

※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

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※他の割引は併用できません。

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配布資料

PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

※【WEBセミナー：アーカイブ受講対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

アーカイブ(見逃し)配信について
視聴期間：11月20日(木)PM～11月27日(木)
※アーカイブは原則として編集は行いません
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。
(開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます）

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。