MEMSに向けた微細構造形成、加工プロセスの開発とその応用【提携セミナー】
おすすめのセミナー情報
| 開催日時 | 2023年7月11日（火）10:30~16:30 |
|---|---|
| 担当講師 | 峯田 貴 氏 |
| 開催場所 | Zoomによるオンライン受講 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 55,000円(税込) |
★MEMSの基礎から応用、最新動向まで抑える入門講座
★MEMSの超微細化、３D構造化に向けたプロセス技術
MEMSに向けた微細構造形成、
加工プロセスの開発とその応用
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）は、マイクロマシンとも呼ばれ、微細な機械要素と電子回路等を複合し、センサ、アクチュエータ、バイオチップ等の様々な機能をもつマイクロ素子技術の総称です。 超小型で高機能の素子を基板上に一括作製することができ、急速に進歩して実用化が進んでいます。
本講演では、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向などについて、馴染みのない方にもわかりやすく紹介します。
習得できる知識
- MEMSの基礎から応用、最新動向まで理解が深まる
担当講師
山形大学 理工学研究科 機械システム工学分野 教授 博士（工学） 峯田 貴 氏
セミナープログラム（予定）
１．MEMSの応用分野と基本プロセス
２．微細加工（リソグラフィー、エッチングによるパターニング）プロセスの解説
３．薄膜堆積と応力制御、接合プロセスの解説
４．MEMSの超微細化、３D構造化に向けたプロセス技術
５．封止技術、電気的な接続技術
６．シリコンMEMS技術へのスマート素材薄膜の融合（形状記憶、磁歪合金等）
７．MEMS応用の最新動向の紹介
【質疑応答】
公開セミナーの次回開催予定
開催日
2023年7月11日（火）10:30~16:30
開催場所
Zoomによるオンライン受講
受講料
1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
※定員になり次第、お申込みは締切となります。
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。
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