薄膜作成の基礎とトラブル対策【提携セミナー】
| 開催日時 | 2025/3/11（火）10:30~16:30 |
|---|---|
| 担当講師 | 佐藤 英樹 氏 |
| 開催場所 | Zoomによるオンライン受講 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 55,000円(税込) |
★ 高品質膜に向けた成膜技術を徹底解説！ トラブル対応に向けた評価、観察技術を詳解！
薄膜作成の基礎とトラブル対策
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
【講座概要】
薄膜技術は，先端材料研究をはじめ，電子デバイス，太陽電池，建材，食品産業と，さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では多機能で高性能な成膜装置が市販されており，かつてと比べて容易に薄膜形成が行えるようになりました。しかしながら，適切な薄膜形成のためには，薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合，所望の薄膜を得るためには各種成膜条件が膜質におよぼす影響を考慮しつつ，条件を選択する必要があります。そのようなときに必要になるのが，成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
本講座では，成膜技術に携わる方々を対象に，これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し，実際の業務に生かして頂くことを目標とします。
習得できる知識
成膜プロセス設計に求められる基礎知識，成膜プロセスにおけるトラブル解決に求められる基礎知識
担当講師
三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 教授 博士（工学） 佐藤 英樹 氏
セミナープログラム（予定）
1.成膜技術ための基礎知識
1.1 真空工学
1.2 表面物性工学
1.3 プラズマ工学
2.物理気相成長（PVD）法
2.1 真空蒸着法
2.1.1 原理
2.1.2 真空蒸着法の種類
2.1.3 真空蒸着法の留意事項
2.2 スパッタ法
2.2.1 原理
2.2.2 スパッタ法の種類
2.2.3 スパッタ法で作製される薄膜の特長
2.2.4 スパッタ法の留意事項
3.化学気相成長（CVD）法
3.1 原理
3.2 化学気相成長法の種類
3.3 化学気相成長法による成膜例
3.4 化学気相成長法の留意事項
4.薄膜評価法
4.1 形態観察
4.2 膜組成、膜構造分析
4.3 付着力、膜応力測定
4.4 電気的特性、光学的特性測定
5.成膜プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと対策
【質疑応答】
公開セミナーの次回開催予定
開催日
2025/3/11（火）10:30~16:30
開催場所
Zoomによるオンライン受講
受講料
1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。
おすすめのセミナー情報
注目のセミナー
セラミックス材料ユーザーのための焼結プロセス知識《研究・開発から製造プロセスまで》（セミナー）
開催日時 2025/3/5（水）10:00～16:00
次世代モビリティにも対応するための車載用プラスチックの基礎と最前線（セミナー）
開催日時 2025/3/4（火）13:00～17:00
GMP・ISO等で求められるデータインテグリティ対応実務講座（セミナー）
開催日時 【LIVE配信受講】2025/3/24(月) 9:30～16:30 【アーカイブ配信】3/26～4/8
回路設計問題解決クリニック≪配線遅延や電力、熱、ノイズの悩みを質問できる！≫（セミナー）
開催日時 2025/2/19（水）10:00～16:00
基礎から学ぶ 医薬品GCP超入門講座（セミナー）
開催日時 2025/2/27（木）9:30-16:30
応力・ひずみの基礎とCAEを用いた応力集中解析および強度評価（セミナー）
開催日時 2025/2/4（火）10:30～16:30
《初心者向け》やさしい図面の書き方 最新JIS製図と図解力完成（セミナー）
開催日時 2025/3/21（金）10：00～17：00
【1日でマスター】設備の投資採算性《WACCとペイバック法・NPV法・IRR法》（セミナー）
開催日時 2025/2/27（木）10：00～16：00
人気のコラム
