★MEMSの基礎から応用、最新動向まで抑える入門講座

★MEMSの超微細化、３D構造化に向けたプロセス技術

MEMSに向けた微細構造形成、

加工プロセスの開発とその応用

【提携セミナー】

主催：株式会社技術情報協会

講座内容

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）は、マイクロマシンとも呼ばれ、微細な機械要素と電子回路等を複合し、センサ、アクチュエータ、バイオチップ等の様々な機能をもつマイクロ素子技術の総称です。 超小型で高機能の素子を基板上に一括作製することができ、急速に進歩して実用化が進んでいます。

本講演では、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向などについて、馴染みのない方にもわかりやすく紹介します。

習得できる知識

• MEMSの基礎から応用、最新動向まで理解が深まる

担当講師

山形大学　理工学研究科　機械システム工学分野　教授　博士（工学） 峯田 貴 氏

セミナープログラム（予定）

１．MEMSの応用分野と基本プロセス

２．微細加工（リソグラフィー、エッチングによるパターニング）プロセスの解説

３．薄膜堆積と応力制御、接合プロセスの解説

４．MEMSの超微細化、３D構造化に向けたプロセス技術

５．封止技術、電気的な接続技術

６．シリコンMEMS技術へのスマート素材薄膜の融合（形状記憶、磁歪合金等）

７．MEMS応用の最新動向の紹介

【質疑応答】

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023年7月11日（火）10:30~16:30

開催場所

Zoomによるオンライン受講

受講料

1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕

※定員になり次第、お申込みは締切となります。

技術情報協会主催セミナー　受講にあたってのご案内

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備考

資料は事前に紙で郵送いたします。

お申し込み方法

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