・「スパッタ」を体系的に学ぶ

・密着性を上げるには？ 成膜条件はどう設定する？ トラブル対処方法は？

スパッタリング技術の仕組みと

膜質向上：プラスチックへの成膜を中心として

≪密着性向上・成膜条件設定・現場のトラブル対応≫

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

講師より／本セミナーのポイント

スパッタリングは生産性が高く、高品質の膜が得られる真空成膜技術です。近年環境への配慮から、メッキに変えてスパッタリングを生産に使う動きも増えています。

本セミナーではスパッタリング技術について基礎から実践まで幅広く説明します。

特にプラスチックへの成膜は光学特性・導電性・ガスバリア性・親水性など様々な機能性を付加する事が期待されていますが、ガラス等に比べ非常に難易度が高い成膜です。これに関しても詳細解説いたします。

◆受講後、習得できること

• 真空装置の基礎：スパッタリングの実施に際して
• スパッタリングの体系的な知識：原理や装置機構
• 膜質向上や密着性向上のためのポイントと留意点
• プラスチックに成膜する際のポイントと留意点
• よくある現場のトラブル事例と予防・対応策　等

◆受講対象者

• スパッタリングについて体系的に学びたい方
• スパッタリングの導入を検討中の方
• スパッタリングを業務で行っているが、所望の膜を得られない方
• プラスチックへのスパッタリング成膜に取り組んでいる方
• スパッタリングを巡る各種トラブルに苦慮している方　等

担当講師

アステラテック(株) 代表取締役 博士（工学） 三好 幸三 先生

＊ 会場受講者は講師との名刺交換が可能です

1991年～ 精密機器メーカーの研究所勤務：液晶ディスプレイ素子、薄膜太陽電池の開発に従事
2002年～ 電気機器メーカー研究所にて色素増感太陽電池の開発に従事：（桐蔭横浜大学宮坂研究室との共同開発）
2010年 桐蔭横浜大学より博士（工学）の学位を授与される
2012年 「最先端研究開発支援プログラム」にて研究員を兼務：桐蔭横浜大学外学院工学研究科 特任博士研究員／東京大学先端科学技術研究センター 協力研究員
○主な実績・経験
・液晶ディスプレイ素子の新規エッチング手法の開発
・プラスチック材料の新規親水化処理方法の発明
・透明ソーラーセルの発明とプロセス開発および実用化（2002年）
※露光装置、洗浄設備、?離装置、エッチング装置（ウェット、ドライ）といった量産設備や、各種成膜装置（PVD、CVD、MOCVD、ALD）、またFE-SEM、レーザー顕微鏡（新規実験室の設計・立上）の取扱いについて、多くの経験を有する。
※日本表面真空学会認定の真空主任技術者でもある。

セミナープログラム（予定）

1. スパッタリング技術者のための真空の基礎
1.1 気体分子運動論
1.2 真空と表面

2. 真空装置の基礎
2.1 真空の作り方
2.2 真空の測り方
2.3 成膜装置の基本構成

3. プラズマの基礎
3.1 プラズマとは何か
3.2 プラズマの作り方

4. 真空成膜装置
4.1 真空成膜装置の種類
4.2 スパッタリング装置の構成・仕組み
4.2.1 なぜマグネトロンスパッタか？
4.2.2 スパッタリング装置のメリット・デメリット

5. スパッタリング装置における成膜条件だしのポイント
5.1 膜質向上のための取り組み
5.1.1 膜質と生産性のトレードオフ
5.1.2 基板加熱とイオンアシスト
5.2 密着性向上のための取り組み
5.2.1 密着性は何で決まるか？
5.2.2 密着性改善の方法1：前処理条件から
5.2.3 密着性改善の方法2：成膜条件から
5.2.4 密着性改善の方法3：膜構成から

6. プラスチック材料への成膜方法と留意点
6.1 脱ガスの重要性
6.2 前処理の重要性
6.3 プラスチックの種類と成膜
6.1.1 フィルム基板への成膜
6.1.2 応力によるカールの問題と主な対応策
6.1.3 厚みのある材料への成膜

7. 現場のトラブルシューティング
7.1 日々の管理項目
7.2 リークトラブルの原因と対応策
7.3 放電トラブルの原因と対応策
7.4 何が壊れやすいか？：必要なバックアップ

＜質疑応答＞
※口頭で質問したい方へは、その際にマイク使用を許可します
※「Q＆A」への投稿も、遠慮なくお願いします。

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023年7月12日（水）　12:30-16:30　　※途中、小休憩を挟みます。

開催場所

【会場受講】[東京・京急蒲田]大田区産業プラザ（PiO）6階C会議室
【オンライン受講】Zoomによるオンラインセミナー

受講料

【オンライン受講　又は会場受講：見逃し視聴なし】：1名41,800円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンライン受講　又は会場受講：見逃し視聴あり】1名47,300円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

●本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、
　録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。

オンライン配信のご案内

★　Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

備考

※配布資料・講師への質問等について

●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
（開催1週前～前日までには送付致します）。
※会場受講の方は当日会場にてテキスト（紙媒体）をお渡しします
＊準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【会場受講／見逃視聴なし】、【会場受講／見逃視聴あり）】、【オンライン受講／見逃視聴なし】、【オンライン受講／見逃視聴あり】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。