・近接場光で何をしようか？　近接場光なら何ができるのか？

・「原子オーダーの平滑化」、「二酸化炭素の還元」にも？

近接場光による表面平滑化技術の

原理・現状と今後の可能性

≪近接場光エッチングの産業応用≫

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

講師より／本セミナーのポイント

近接場光はナノ寸法に局在する光です。この講演では、近接場光について長年研究を行ってきた講師が、その原理から応用までの詳細を説明します。応用例として、近年多くの分野で懸念事項となっている、表面平滑化を取り上げます。近接場光エッチングは、講師が世界に先駆けて開発した技術で、この技術を用いた原子オーダーでの平滑化について、様々な材料や形状に関する事例をご説明いたします。

◆受講後、習得できること

• 近接場光の基礎知識
• 近接場光による波長変換の原理
• 近接場光エッチングの研究事例
• 近接場光加工の今後の可能性　等

◆受講対象者

• 半導体プロセス技術に従事している方
• 表界面の平滑化に取り組んでいる方
• ナノ加工、微細加工技術に従事している方
• 近接場光技術に興味をお持ちの方
• 光加工技術・光応用技術の研究開発に従事している方 等

担当講師

豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系　教授 博士（工学）　八井 崇 先生

2000年3月 東京工業大学大学院総合理工学研究科電子システム専攻博士課程修了（博士（工学）取得）
2000年4月-2003年9月 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業（ERATO） 大津局在フォトンプロジェクト 研究員
2003年10月-2008年3月 科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業 継続研究課題(SORST) ナノフォトニックデバイスとシステムの開発 研究員
2008年4月-2020年3月 東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻 准教授
2020年4月-現在 豊橋技術科学大学 大学院工学研究科 電気・電子情報工学系 教授

セミナープログラム（予定）

1.近接場光の原理：非一様光場の解説から
1.1 非一様光場の原理：非一様光場とは何か
1.2 非一様光場による高次高調波発生
1.3 非一様光場による多段階遷移
1.4 非一様光場による波数励起
1.5 現在考えられている近接場光の制御技法

2.近接場光加工の応用展開
2.1 表面平滑化
2.1.1 堆積による表面平滑化
2.1.2 エッチングによる表面平滑化
2.1.2.1 半導体プロセスにおけるエッチングへの適用検討：課題と可能性
2.2 二酸化炭素還元
2.2.1 近接場光援用二酸化炭素還元の高効率化
2.2.2 ナノ構造による二酸化炭素還元の事例
2.2.3 金属錯体を介した二酸化炭素還元の事例
2.3 環境応用展開
2.3.1 近接場光援用水の浄化
2.4 高効率光検出器
2.4.1 波数励起による間接遷移半導体の高効率励起
2.4.2 波数励起によるシリコン光検出器の高効率化

3.近接場光加工の今後の展望
3.1 大面積化・高速化の可能性
3.2 近接場光加工の医療分野への展開

4.近接場光を巡るよくある質問・話題
4.1 「従来の機械研磨技術と比較すると、どのような利点・ポテンシャルがあるのでしょうか？」
4.2 「適用できる材料・形状にはどのようなものがありますか？　何か制限はありますか？」
4.3 「近接場光技術の産業化・生産実用化のための課題は主に何でしょうか？」
4.4 「近接場光が発生する条件は何かあるのでしょうか？」

＜質疑応答＞

公開セミナーの次回開催予定

開催日

未定

開催場所

未定

受講料

未定

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備考

※配布資料・講師への質問等について

●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
（開催1週前～前日までには送付致します）。
＊準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

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