<半導体製造において必須:プラズマプロセッシング>プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス
2024/5/21(火) 10:30~16:30
お問い合わせ
03-6206-4966
開催日時 | 2022/5/23(月)10:30-16:30 |
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担当講師 | 沖野 晃俊 氏 |
開催場所 | Zoomによるオンラインセミナー |
定員 | - |
受講費 | 47,300円 |
≪基本知識から,応用時の注意点,技術課題,最近の技術動向まで≫
【提携セミナー】
主催:株式会社情報機構
大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,また高密度な活性種を生成できるため,産業応用には大変多くのメリットがあります。このため,材料表面の親水化処理,接着性の向上,クリーニング等の分野を中心に急速に利用され始めています。しかし,大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため,利用への敷居が高いのも事実です。そこで,本講演では,大気圧プラズマの物理・化学や応用時の注意点などを分かり易く解説するとともに,最新の大気圧プラズマ装置開発の現状と,表面処理,接着,殺菌/ウイルス不活化,医療,環境浄化等への応用例をご紹介します。
◆受講後、習得できること
1. 大気圧プラズマの中身(物理,化学,各種プラズマ生成方式の違い)
2. 大気圧プラズマの装置開発と応用の現状
3. 大気圧プラズマの有効な利用法
◆受講対象者
大気圧プラズマの利用を検討されている、もしくはすでに利用されている、
企業等の研究者・技術者、学生 など
東京工業大学 未来産業技術研究所 准教授 博士(工学) 沖野 晃俊 先生
【略歴】
大阪大学工学部応用物理学科卒業,東京工業大学大学院原子核工学専攻博士後期課程修了。
東工大電気・電子工学科助手,東工大総合理工学研究科准教授を経て,
2016年4月から現職。
1998年-1999年ジョージワシントン大学客員研究員,2006年-2007年UCLA客員教授。
(1)大気圧プラズマの基礎
1. 教科書に書かれているプラズマ
2. なぜ大気圧プラズマが注目されている?
3. 様々な大気圧プラズマの生成法と特徴
(2)大気圧プラズマの中身
1. プラズマ中では何が起こっているか
2. プラズマ中粒子の衝突・励起・発光など
3. 大気圧プラズマの温度・密度
(3)大気圧高温プラズマとその応用
1. 大気圧高純度マルチガスプラズマ
2. 地球温暖化ガスの分解
3. 高速半導体プロセシング
(4)大気圧低温プラズマとその応用
1. 様々な低温プラズマ
2. マルチガス化の必要性
3. 零下から高温まで温度を制御できるプラズマ
4. 表面や粉体の親水化処理/クリーニング/接着性向上
5. 液体を使用した新しいコーティング法
6. 殺菌/ウイルス不活化
7. マイクロバブル,超音波との併用
8. 紫外線,赤外線との同時処理
9. 大流量ガスのプラズマ処理
10. 金属酸化膜の高速還元処理
11. 医療応用 表面付着物分析,内視鏡下止血など
12. 農業応用 水耕栽培,植物のゲノム編集など
(5)大気圧プラズマの近未来展望と利用のポイント
2022年5月23日(月) 10:30-16:30
Zoomによるオンラインセミナー
1名47,300円(税込、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
*学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。
配布資料・講師への質問等について
●配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
お申込みは4営業日前までを推奨します。
それ以降でもお申込みはお受けしておりますが(開催1営業日前の12:00まで)、
テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
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