ALD(原子層堆積法)の原理と薄膜形成法【提携セミナー】

開催日時 2020/12/4(金)10:30-16:30
担当講師

霜垣 幸浩 氏

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

定員 -
受講費 47,300円

ALDの基礎から丁寧に解説します!

ALDプロセスの開発・製品応用に役立つセミナー!

 

ALD(原子層堆積法)の原理と薄膜形成法
~薄膜の特性・評価および制御、最適化~

 

【提携セミナー】

主催:株式会社情報機構

 


 

Atomic Layer Deposition(ALD、原子層堆積法)による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。

 

しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition(CVD、気相薄膜形成法)と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。

 

このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

 

また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。また、近年急速に注目を集めているALEt(Atomic Layer Etching)についても、開発動向やプロセスの特性などを解説します。

 

■ 受講後、習得できること

  • CVD/ALD法に関する速度論の基礎的知識
  • 上記に基づくCVD/ALD薄膜形成プロセスの開発・解析能力
  • エッチングへの応用としてALEtを学ぶことが出来ます

 

担当講師

東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 工学博士  霜垣 幸浩  氏

 

セミナープログラム(予定)

Ⅰ 薄膜作製の基礎


1.薄膜作製入門
1.1 薄膜の種類と用途
1.2 代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法
1.3 ウェットプロセスとドライプロセス
1.4 PVDとCVD、ALD

 

2.真空の基礎知識
2.1 真空度とは
2.2 平均自由行程とクヌッセン数
2.3 真空の質と真空ポンプ、真空計

 

3.PVDプロセス
3.1 真空蒸着の基礎
3.2 スパッタリング


Ⅱ ALD/CVDプロセスの反応機構と速度論


4.ALDの基礎としてのCVDプロセス入門
4.1 CVDプロセスの素過程
4.2 CVDプロセスの速度論
4.2.1 製膜速度の温度依存性-表面反応律速と拡散律速
4.2.2 製膜速度の濃度依存性-1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応
4.3 CVDプロセスの均一性

 

5.表面・気相の反応機構解析入門
5.1 素反応機構と総括反応機構
5.2 気相反応の第一原理計算と精度
5.3 表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析


Ⅲ ALDプロセスの基礎と展開


6.ALDプロセスの基礎
6.1 ALDプロセスの基礎理論と製膜特性
6.2 ALDプロセスの歴史的展開
6.3 ALDプロセスの理想と現実
6.3.1 ALDプロセスの温度依存性
6.3.2 ALDプロセスの均一性
6.3.3 ALDプロセスの量産性

 

7.ALDプロセスの応用と展開
7.1 ALDプロセスの応用用途
7.2 ALDプロセスの解析手法と最適化
7.2.1 Quartz Crystal Microbalance(QCM)によるその場観察と最適化
7.2.2 製膜遅れ時間(Incubation Time)の観測と最適化
7.3 新しいALD技術
7.3.1 プラズマALD、ホットワイヤーALD
7.3.2 Spatial ALD
7.3.3 Atomic Layer Etching(ALEt)
7.4 ALD関連国際会議について

 

<質疑応答>

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2020年12月4日(金) 10:30-16:30

 

開催場所

Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら学習可能です※

 

オンライン配信のご案内

★ Zoomによるオンライン配信

 

については、こちらをご参照ください

 

受講料

1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。

 

配布資料

  • 配布資料は、印刷物を郵送もしくはメール送付のどちらかを検討中です。
  • お申込については4営業日前までのお申込みを推奨します。
  • それ以降でもお申込みはお受けしておりますが(開催1営業日前の12:00まで)、テキストが郵送となった場合、資料の到着がセミナー後になる可能性がございます。
    ※会場での受講の方は当日、会場にてお渡し致します。

 

備考

  • 録音・撮影行為は固くお断り致します。
  • 講義中の携帯電話の使用はご遠慮下さい。
  • 講義中のパソコン使用は、講義の支障や他の方の迷惑となる場合がありますので、極力お控え下さい。
  • 場合により、使用をお断りすることがございますので、予めご了承下さい。
    *PC実習講座を除きます。
  • 新型コロナウイルスの感染防止の一環として当面の間、昼食の提供サービスは中止させて頂きます。
  • 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
    (全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
  • 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【会場受講】【Live配信受講】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。

 

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