MEMSの基礎と応用【提携セミナー】

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MEMSの基礎と応用【提携セミナー】

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MEMSの基礎と応用
《マイクロセンサ・アクチュエータが拓く世界》

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

MEMSは電子・電気・機械技術を融合した微細デバイス・システムであり、電子材料であるSi基板上に機械的構造を集積化することができます。

本セミナーではMEMSに使われる材料、加工プロセス、生産形態、応用例を紹介し、多岐にわたるMEMS技術の全容を概観します。

MEMSデバイスの開発に関わる技術者、MEMSデバイスを使った応用システム開発に関わる技術者、さらに将来の技術動向を考える方々を対象として以下の内容を講演します。MEMSを草分けから知る講師が、いまさら訊きづらい御質問にもお答えます。

◆　受講対象者

MEMSを応用した分野に参入を検討している方
多岐にわたるMEMS技術の全容がつかめないという方
業務遂行にあたってMEMSに関する一般知識を得たい方
MEMSの製造プロセスの知識を得たい方
MEMS材料・デバイスの機械的な特性（強度評価法を含む）を知りたい方
MEMS分野でこれまでに開発されたデバイス・システムに興味のある方
MEMSについて質問をお持ちの方

◆　必要な予備知識

大学の理工系学部卒業程度の物理・化学の知識があれば十分です
書籍「センサ・マイクロマシン工学」（藤田編著・オーム社・2005/10）ISBN 978-4-274-20134-9.
「マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術」《普及版》（式田、佐藤、田中監修、シーエムシー出版、2009/10）ISBN978-4-7813-1101-2.
“Silicon Wet Bulk Micromachining for MEMS” Prem Pal and Kazuo Sato, Pan Stanford Publishing (2017), ISBN978-981-4613-72-9(Hard cover), ISBN 978-1-315-36492-6 (e-book).

◆　本セミナーで習得できること

MEMS全般の基礎知識
MEMSのビジネス動向・情報
シリコン単結晶・多結晶の機械的性質
3次元微細形状を製作する手段（除去加工、付加加工、接合加工）
シリコン加工手段の選択方法、トラブルへの対処方法

担当講師

名古屋大学名誉教授／愛知工業大学客員教授佐藤一雄氏

セミナープログラム（予定）

１．MEMSの技術と製品の歴史
１　半導体技術に根ざす技術
２　機械技術に根ざす技術
３　応用分野の二極化（大量生産と少量生産）
４　分業が進むビジネスモデル

２．MEMSの製造技術「マイクロマシニング」
１　半導体プロセスによる一括製造vs.機械的な単品製造
２　半導体製造技術援用の強みと弱み
３　半導体製造技術によるマイクロマシニング
a)フォトリソグラフィ
b)エッチング手段（ドライ/ウェット、等方性/異方性、KOH/TMAH）
c)成膜技術（酸化、拡散、CVD、スパッタ蒸着、等）
d)バルクマイクロマシニングと表面マイクロマシニング
e)接合・アセンブル技術

３．機械材料としての「単結晶・多結晶シリコン」「シリコン化合物薄膜」
１　単結晶・多結晶シリコンの強度・変形能
２　薄膜の強度評価方法（引張り試験、曲げ試験、バルジ試験）

４．微小構造物を動かすアクチュエータ
１　多彩な駆動原理（静電力、電磁力、熱、表面張力、光圧力、など）
２　マイクロ化で変わる駆動方法の選択

５．成功事例の特徴と応用製品分野（参加者の関心に応じて選択的に詳述する）
１　圧力センサ（プラント、管内流速、気圧、血圧、気圧、標高）
２　加速度センサ（自動車、スマホ、ゲーム端末、スポーツ解析）
３　回転角速度センサ（移動体車体制御）
４　流速センサ（管内流量、ガスの流れ方向）
５　マイクロフォン（小型端末、分布型配置）
６　AFMプローブ（トポロジ、磁気・光・熱応用、ナノ摩擦）
７　光スキャナ（障害物・人の検出、レーザ顕微鏡、ディスプレイ）
８　インクジェットヘッド（プリンタ、マイクロ流体操作）
９　自動車（内燃系、姿勢制御系、ディスプレイ系、障害物検出系）
１０　光通信、光学機械（交換機、光スキャン、明暗パターン生成）
１１　モバイル端末（マイクロフォン、加速度、圧力、風速）
１２　医療（血圧、血液・尿・涙・呼気成分検出、ヘルスケア、介護）
１３　バイオ、微粒子の検出・分類（特定細胞の検出・分離・診断）